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產(chǎn)品資料

3D共聚焦顯微鏡

如果您對該產(chǎn)品感興趣的話,可以
產(chǎn)品名稱: 3D共聚焦顯微鏡
產(chǎn)品型號: OLS5000 3D測量激光顯微鏡
產(chǎn)品展商: 奧林巴斯
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡單介紹

奧林巴斯LEXT OLS5000 激光掃描共聚焦顯微鏡,使得非接觸式、3D 測量和觀察變得更容易。只要按下啟動按鈕,用戶就可以對微米、亞微米級別的精細(xì)形狀進(jìn)行測量。易用性與先進(jìn)性相結(jié)合,使得采集速度比之前的模式快了四倍。Z 軸方向從毫米到納米,通常幾秒鐘即可得到高清可靠的圖像。對于較大的樣品的客戶,LEXT 長工作距離物鏡和擴(kuò)展架允許系統(tǒng)容納*高達(dá)210 毫米的樣品。


3D共聚焦顯微鏡  的詳細(xì)介紹

LEXT OLS5000 3D測量激光顯微鏡配備的兩套光學(xué)系統(tǒng)(彩色成像光學(xué)系統(tǒng)和激光共焦光學(xué)系統(tǒng))讓其能夠獲取彩色信息、高度信息和高分辨率圖像。

LEXT OLS5000 3D測量激光顯微鏡有4大關(guān)鍵價值:

  • 捕捉任意表面形狀。
  • 快速獲得可靠數(shù)據(jù)。
  • 使用簡單 - 只需放置樣品并按一下按鈕即可。
  • 測量具有挑戰(zhàn)性的樣品。

價值1:捕捉任意表面形狀。

 

OLS5000顯微鏡的先進(jìn)技術(shù)使其能夠進(jìn)行高分辨率的3D樣品測量。

價值2、快速獲得可靠數(shù)據(jù)

該顯微鏡的掃描算法既可提高數(shù)據(jù)質(zhì)量又可提高速度,從而縮短您的掃描時間,簡化您的工作流程,*終實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)力的提升。

價值3、使用簡單,只需放置樣品并按一下按鈕即可

LEXT® OLS5000顯微鏡具有自動數(shù)據(jù)采集功能,因而無需進(jìn)行復(fù)雜的設(shè)置調(diào)整。 甚至生疏的用戶也可以獲得準(zhǔn)確的檢測結(jié)果。

價值4、可測量具有挑戰(zhàn)性的樣品

低輸出、非接觸式無損激光測量意味著不需要樣品制備。可以在不損壞易損性材料的情況下對其進(jìn)行測量。擴(kuò)展架可容納高達(dá)210毫米的樣品,而超長工作距離物鏡能夠測量深度可達(dá)25毫米的凹坑。在測量這兩類樣品時,您只需將樣品放在載物臺上即可。

[獲取彩色信息]
彩色成像光學(xué)系統(tǒng)使用利用白光LED光源和CMOS相機(jī)獲取彩色信息。
[獲取3D 高度信息和高分辨率共焦圖像]
激光共焦光學(xué)系統(tǒng)采用405納米激光二極管光源和高靈敏度光電倍增管獲得共焦圖像。淺焦深使其能夠用于測量樣品的表面不規(guī)則性。

[405納米激光光源]

光學(xué)顯微鏡的橫向分辨率隨著波長的減小而獲得提升。采用短波長激光的激光顯微鏡相比采用可見光(峰值550納米)的傳統(tǒng)顯微鏡具有更優(yōu)的橫向分辨率。 OLS5000顯微鏡利用405納米短波長激光二極管獲得**的橫向分辨率。

[激光共焦光學(xué)系統(tǒng)]

激光共焦光學(xué)系統(tǒng)僅接收通過圓形針孔聚焦的光線,并非采集從樣品上反射和散射的所有光線。這樣有助于消除模糊,讓其能夠獲得比普通顯微鏡對比度更高的圖像

[X-Y掃描儀]

OLS5000顯微鏡配有奧林巴斯光學(xué)掃描儀。通過將采用電磁感應(yīng)MEMS諧振掃描儀的X軸與采用Galvano掃描振鏡的Y軸相結(jié)合,能夠讓X-Y掃描儀定位于相對物鏡瞳鏡共軛的位置,因而能夠?qū)崿F(xiàn)具有較低掃描軌跡失真和較小光學(xué)像差的**X-Y掃描。

[高度測量原理]

在測量高度時,顯微鏡通過自動移動焦點(diǎn)位置獲取多個共焦圖像。

根據(jù)非連續(xù)的焦點(diǎn)位置(Z)和檢測光強(qiáng)度(I)可以估算每個像素的光強(qiáng)變化曲線(I-Z曲線),并獲得其峰值位置和峰值強(qiáng)度。由于所有像素的峰值位置與樣品表面的不規(guī)則性相對應(yīng),因此可以獲得樣品表面的3D形狀信息。與此類似,通過峰值強(qiáng)度數(shù)據(jù)可以獲得針對樣品表面所有位置焦點(diǎn)的圖像(擴(kuò)展圖像)。


主機(jī)規(guī)格:

型號 OLS5000-SAF OLS5000-SMF OLS5000-LAF OLS5000-EAF OLS5000-EMF
總倍率 54x - 17,280x
視場直徑 16 μm - 5,120 μm
測量原理 光學(xué)系統(tǒng) 反射式共焦激光掃描激光顯微鏡
反射式共焦激光掃描激光-DIC 顯微鏡
彩色
彩色DIC
光接收元件 激光:光電倍增管(2ch)
色彩:CMOS 彩色相機(jī)
高度測量 顯示分辨率 0.5 納米
動態(tài)范圍 16 位
可重復(fù)性 n-1 *1 *2 *6 20x : 0.03 μm, 50x : 0.012 μm, 100x : 0.012 μm
精度 *1 *3 *6 測量值 +/- 1.5%
拼接圖像精度 *1 *4 *6 20x : 15+0.5L μm, 50x : 9+0.5L μm, 100x : 7+0.5L μm (L: 拼接長度 [μm])
測量噪聲(SQ 噪聲)*1 *5 *6 1 納米
寬度測量 顯示分辨率 1 納米
可重復(fù)性 3 n-1 *1 *6 20x : 0.05 μm, 50x : 0.04 μm, 100x : 0.02 μm
精度 *1 *3 *6 測量值 +/- 1.5%
拼接圖像精度 *1 *3 *6 20x : 15+0.5L μm, 50x : 9+0.5L μm, 100x : 7+0.5L μm (L: 拼接長度 [μm])
單次測量時測量點(diǎn)的*大數(shù)量 4096 x 4096 像素
測量點(diǎn)的*大數(shù)量 3600 萬像素
XY 載物臺配置 長度測量模塊 ? ?
工作范圍 100 x 100 mm 電動

100 x 100 mm 手動

300 x 300 mm 電動 100 x 100 mm 電動 100 x 100 mm 手動
*大樣品高度 100 mm 30 mm 30 mm 210 mm 140 mm
激光光源 波長 405 nm  
*大輸出 0.95 mW  
激光分類 2 類 (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014)  
彩色光源 白光 LED
電氣功率 240 W 240 W 278 W 240 W 240 W
質(zhì)量 顯微鏡主體 約 31 公斤 約 30 公斤 約 50 公斤 約 43 公斤 約 39 公斤
控制器 約 12 公斤



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